晶圆清洗机参数怎么调

大家都说，有的时候使用晶圆清洗机的时候总不能尽如人意。我们需要调整一些数据来更加适配自己的需求，那么犯难的问题来了，到底如何调整晶圆清洗机的参数呢？

下面就一起来学习一下吧！毕竟根据不同厂家与型号的晶圆清洗机来说，参数调整方式不同。为此，我们只能给大家提供一些普遍的调试方法，大家操作需要谨慎。

1、温度直接影响化学溶液的反应速率和晶圆表面的清洁效果。适当的温度可以加速化学反应，提高污染物的去除效率。调试时应根据所使用的清洗剂类型和晶圆材料的特性，设定合适的温度范围，通常在70-80°C之间。使用温度传感器监测并实时调整，确保温度稳定。

2、化学溶液的浓度决定了其清洗能力。浓度过高或过低都会影响清洗效果，甚至可能损伤晶圆表面。调试时应根据清洗需求和晶圆的污染程度，选择合适的化学溶液浓度。例如，SC1溶液由NH4OH和H2O2组成，SC2溶液由盐酸和H2O2制成。使用无试剂近红外光谱(NIRS)进行在线分析，实时监控和调整化学溶液的浓度。

3、机械作用力包括超声波振动和高压喷射，有助于从晶圆表面物理去除顽固污染物。调试时应根据晶圆的材质和表面特性，调整超声波的频率和功率。对于高压喷射，调节喷嘴的角度和压力，以优化清洗效果。

4、清洗时间需要足够长以确保彻底去除污染物，但过长的时间可能会导致晶圆表面损伤或降低生产效率。调试时应根据晶圆的污染程度和所选清洗工艺，设定合理的清洗时间。通常，每个清洗周期包括多个阶段，如预洗、主洗、冲洗和干燥。

5、根据需要选择合适的清洗剂，并根据清洗剂的要求调整剂量。

6、如果设备配备有清洗刷子，应将刷子安装在晶圆清洗机上，并确保刷子安装牢固，不会在清洗过程中脱落或移位。