全自动晶圆清洗机有哪些部分组成

晶圆清洗机应该是主流机型了，但是大家虽然懂它的原理，也基本会操作与使用。但是要说它的组成部分，还真不少人说不上来。既然我们都使用了，那也要对它做做功课，充分了解它。今天就来给大家讲讲，到底全自动晶圆清洗机有哪些部分组成，做一个科普，感兴趣的记得来看哦！

基本主要可以归纳为以下几个重要部件：

清洗槽：用于容纳清洗液和晶圆，通常有多个槽，每个槽负责不同的清洗步骤，如预洗、主洗、漂洗等。可能配备超声波发生器、旋转机构、抖动机构等，以增强清洗效果。

送风系统：吹干晶圆表面的水分，确保清洗后的晶圆干燥。

纯水系统：提供高纯度的水，用于最终的冲洗步骤，确保晶圆表面的纯净度。

化学溶液处理系统：包括化学溶液的配制、输送和回收系统，确保清洗过程的连续性和效率。

控制系统：采用PLC和触摸屏进行精确控制，可以预设多种清洗程序，确保清洗过程的稳定性和重复性。可以与工厂的MES（制造执行系统）连接，实现数据的实时监控和管理。

机械手传输系统：自动搬运晶圆，确保晶圆在各个清洗槽之间的转移安全、准确。通常采用伺服驱动，确保运行平稳和定位可靠。

怎么样，现在一下子对于全自动清洗机有了一个基本框架与概念吧。相信明白了基础知识后，未来大家使用起来会更加顺畅。