槽式清洗机是如何工作的？

其实区别于单片清洗机，大家都知道槽式清洗机是比较复杂的。那么很多人好奇说，复杂有多么复杂呢?那就一起来看看，槽式清洗机到底是如何工作的吧！

相信槽式清洗机的工作原理一旦让大家明白，那么内心中的复杂两个字也得到一个答案。槽式清洗机具体工作步骤如下：

进料：将需要清洗的物品，如半导体晶圆，放置在特制的花篮中。花篮的设计可以确保晶圆在清洗过程中保持稳定，并且方便在不同槽体之间转移。

预清洗：晶圆首先进入预清洗槽，通常是一个装有去离子水的水槽。在这个步骤中，通过喷淋、浸泡或超声等方式，去除晶圆表面的大颗粒杂质、灰尘和一些松散的污染物。例如，利用去离子水的冲击力和溶解作用，将晶圆表面的可溶性污垢溶解并冲走。

化学清洗：经过预清洗的晶圆依次进入不同的化学试剂槽。根据污染物的种类和清洗要求，选择相应的化学试剂和清洗工艺。例如，对于去除金属离子污染，可以使用酸性溶液进行清洗；对于有机污染物，则可能需要使用碱性溶液或特定的有机溶剂。在化学清洗过程中，化学试剂与污染物发生化学反应，将其分解、溶解或转化为易于去除的物质。同时，为了提高清洗效果，可能会结合超声、加热等辅助手段。例如，超声波可以在液体中产生空化效应，增强化学试剂与污染物的接触和反应，使污染物更容易从晶圆表面脱落。

漂洗：完成化学清洗后，晶圆需要进行多次漂洗，以去除残留的化学试剂。漂洗通常在装有去离子水的水槽中进行，通过溢流、喷淋或浸泡等方式，确保晶圆表面的化学试剂被彻底冲洗干净。这个步骤非常关键，因为残留的化学试剂可能会对后续的工艺过程产生不良影响。

干燥：清洗和漂洗完成后，晶圆需要进行干燥处理，以防止水分残留导致腐蚀或其他问题。常见的干燥方式有旋转甩干、热氮气烘干、异丙醇慢提拉干燥及 Marangoni 干燥等。例如，旋转甩干是通过高速旋转晶圆，利用离心力将水分甩掉；热氮气烘干则是用热氮气吹拂晶圆表面，使水分快速蒸发。

出料：干燥后的晶圆从清洗机中取出，此时晶圆表面已经达到了较高的清洁度，可以进行后续的加工或检测工序。

相信这个完整的流程与步骤，绝对能让大家轻松明白槽式清洗机的工作原理。我们也相信未来，随着技术的不断进步，槽式清洗机将继续优化升级，满足更高标准的清洗需求。