​硅片清洗机在清洗槽中的分布及粘结问题

硅片清洗机在清洗槽中的分布及粘结问题

目前有些超声清洗机商品，粘在清洗槽底或壁上的换能器分布过密，一个紧挨一个的排列.输入换能器的电功率强度达到每平方厘米2-3瓦，这样高的强度一方面会加快不锈钢板表面(与清洗液接触的表面)的 空化腐蚀，缩短使用寿ming，另一方面由于声强过高。会 在钢板表面附近产生大量较大的气泡，增加声传播损，在远离换能器的地方削弱清洗作用。一般选用功率 强度每平方厘米低于1.5瓦为宜(按粘有换能器的钢板面积计算)。如果清洗槽较深， 除槽底粘有换能器外， 在槽壁上也应考虑粘结换能器。

超声波换能器与清洗槽的粘结质量对硅片清洗机整机的质量影响很大.不但要粘牢，而且要求胶层均匀、不缺胶和不允许有裂缝，使超声能量zui大限度地向清洗液中传输，以提高整机效率和清洗效·果。目前有些清洗设备为避免换能器从清洗槽上掉下来。采取螺钉加粘胶的固定 方式，这种连接方式虽然换能器不会掉下来，但是存在许多隐患。如果螺钉焊接质量差，例如不垂直于不锈钢板表面，则胶层不均匀，甚zhi有裂痕或缺胶，能量传输会削弱;另一方面.如果焊接不好也会影响不锈钢表面的平整，导致加速空化腐蚀，缩短使用寿ming。

判断粘结质量的方法之一，是在清洗槽装水并开机工作一段时间后，测量换能器的温升。如果在众多的换能器中某个换能器温升特别快，则表明该换能器可能粘结不好.因为此时声辐射不好，电能量大部分消耗在换能器上而发热。另一个方法是在小信号条件下逐个测量，换能器的电阻抗大小来判别粘结质量。

      目前在硅片清洗机的性能方面还存在一些模糊的认识：认为功率越大，换能器数目越多.其性能越好，价值越高，甚zhi以此论价.这种认识是不全·面的. 如上述，换能器布得过密，功率密度过大，不但清洗效·果不好，而且槽底易空化腐蚀.另一方面， 目前超声 波清洗机商品所标的功率大多是电功率而不是声功率，如果所标是指消耗工频功率，则超声波清洗机质量的优劣应该由效率来判断。如果效率低，在同样清洗效·果时则耗电大，反而增加了用户的费用。超声清洗机的效率包括两部分.一是超声频电源的效率.即输入换能器的 高频电功率与消耗工频电功率之百分比;另一部分是电声转换效率，即进入清洗液中的声功率与输入换能器的电功率之百分比.目前我国在工业生产中还没有一种简便的方法和设备来测量电声转换效率。各厂家所标的超声波清洗机的功率是含糊不清的，亟需有行业的统一标准。

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