硅片清洗水槽的制作方法

                                                    硅片清洗水槽的制作方法

       【硅片清洗机】中的硅片清洗水槽，包括水槽箱体，清洗篮，所述清洗篮为中空结构，包括侧壁、中空位置和硅片槽位，其特征在于，还包括一种缓冲装置，所述缓冲装置包括橡胶垫板，所述橡胶垫板放置在所述水槽箱体上，所述橡胶垫板上设有缓冲块，所述缓冲块上放置所述清洗篮。

       在分插片过程中，硅片在接触硅片清洗篮槽底前先接触到缓冲保护装置上的缓冲块，缓冲块起到缓冲和隔绝的作用，避免了硅片在接触硅片篮槽底瞬间受到的冲击力，对硅片的端面起到很好的保护作用，从而有效避免了硅片崩缺、硅粉脱落、隐裂等缺陷的产生，具有结构简单、成本低，且工作方便、快捷的优点。