槽式清洗设备机械臂夹持检测方法

不知道，你们是否注意观察过，其实槽式清洗设备中有一个勤劳的工作伙伴。那就是槽式清洗设备机械臂，长期以往的使用，我们也要保持检查与维护其中一个重要的环节，那就是槽式清洗设备机械臂夹持。

那么对于这一点应该如何检查呢？下面就来教大家正确的槽式清洗设备机械臂夹持检测方法。

根据说明来说，槽式清洗设备机械臂夹持检测方法主要包括线位移式变面积型电容器检测和带到位检测的吸盘式夹持机构。

线位移式变面积型电容器检测优势是结构简单、检测精准、可靠性高。当机械臂夹持晶圆时，移动极板的位移会改变电容器的电容量，通过测量电容量的变化可以判断机械臂是否夹持了晶圆。

带到位检测的吸盘式夹持机构：能够自动检测工件是否夹持到位，减少人工介入，提高自动化程度和生产效率。同时，该方法还具有结构简单、性能可靠、支撑稳定等优点。

那么明白了优势后，你的选择又是什么呢？