最终清洗机

最终清洗机是一种专门用于在制造流程结束时对产品或工件进行清洗的设备。这种设备在多个行业中都有应用，特别是在半导体、电子、机械加工等领域。

设备功能：

最终清洗机通常具备多种清洗功能，如化学浴（Chemical BATH）自动换酸、自动洗槽、自动槽内配比等。

DIW浴（DI Water BATH）则可能具有Pre Flow和After Change Function等功能。

其他功能还包括S/D（旋干）、机械手臂操作（如Chuck open/Close Type，速度可控变动）等。

设备还具备排程计算功能，可实现多批次同时清洗，避免Process Over Time。

安全性方面，设备设有Door、TEMP、LEVEL、Exhaust等多种INTERLOCK Safety措施。

技术指标：

设备应实现全自动作业，可自动过程控制工艺、冲水及干燥全套作业，并具备自动供液、自动洗槽等功能。

SC1-1槽可能带有兆生功能，且设备可编程选择工艺槽及工艺时间进行清洗。

通过DHF/SC-1/SC-2等工艺步骤完成最终清洗工艺，对圆片表面沾污及颗粒实现有效清洗。颗粒要求通常较高，如0.2um或0.16um作为参考，金属含量则要求极低。