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研究了不少清洗机了,大家是不是跟小编一样,一直对一款清洗机很好奇--氧化镓清洗机。好奇的是这是一款什么样的清洗机,到底是如何工作的呢?那么就必须提一下,氧化镓清洗机工作原理是什么。一起来了解一下吧!
氧化镓清洗机工作原理介绍
主要基于化学和物理相结合的方法,旨在有效去除氧化镓晶片表面的污渍、金属杂质以及其他残留物。
化学清洗
多种清洗液的使用:在氧化镓清洗过程中,会使用到多种特定的清洗液,如包含硫酸、双氧水和去离子水的清洗液Ⅰ,用于去除晶片表面的金属、石蜡等杂质;包含氨水、双氧水和去离子水的清洗液Ⅱ,用于去除研磨后的细小晶颗粒以及灰尘、油污等;包含氢氟酸和去离子水的清洗液Ⅲ,用于去除抛光液残留的硅溶胶和二氧化硅颗粒;以及包含盐酸、双氧水和去离子水的清洗液Ⅳ,用于去除Fe、Mg、Zn和Al等金属离子。
化学反应:这些清洗液中的化学成分能够与晶片表面的污染物发生化学反应,从而将其溶解或分解,达到清洗的目的。
物理清洗
超声清洗:在化学清洗之后,通常会采用超声清洗的方式进一步去除残留的污渍。超声波在液体中传播时会产生空化效应,即液体中的微小气泡在超声波的作用下迅速膨胀并破裂,产生强大的冲击力和微射流,这种力量足以将晶片表面的污渍振落下来。
机械搅拌与喷淋:在某些清洗装置中,还会通过旋转电机带动旋转盘和夹具机构进行旋转,同时配合多组清洗喷管对晶片进行喷淋清洗,以增强清洗效果。
温度控制
清洗过程中,不同的清洗液需要在不同的温度下使用,以达到最佳的清洗效果。例如,清洗液Ⅰ的温度可能控制在80℃左右,而清洗液Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ的温度则根据具体需求进行调整。