​溶液成分对湿法腐蚀机腐蚀速度的影响

溶液成分对湿法腐蚀机腐蚀速度的影响

（1）FeCl3浓度对蚀刻速度的影响：FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度的增高，蚀刻速度加快。当所含FeCl3超过某一浓度时，由于湿法腐蚀机溶液黏度增加，腐蚀速度反而有所下降。对于采用抗蚀印料或抗蚀干膜的铜零件，浓度可控制在35°波美度左右；采用液体光致蚀剂（如骨胶、聚乙烯醇等）的铜零件。浓度控制在42°波美度左右。通常情况下，蚀刻机药箱内药水浓度在350g/L-600g/L为宜。

（2）盐酸的添加量对湿法腐蚀机的腐蚀速度影响：在腐蚀机中加入盐酸，一则可以抑制FeCl3和CuCl2的水解；二则可提高蚀刻速度。特别是当蚀刻液中铜含量大道37.4g/L后，盐酸的作用更加明·显。但这应根据不同的抗蚀层材料选择合适的酸度，如果抗蚀层选择骨胶、明胶、聚乙烯醇等光致抗蚀层，则不能用太高的酸度，否则，抗蚀层易于被破坏。对于感光树脂抗蚀剂及丝网印刷抗蚀层，则可以选择较高的酸度。

（3）温度对蚀刻速度的影响：在FeCl3蚀刻工艺中，随温度的升高，湿法腐蚀机中工件的腐蚀速度明·显加快。比如在50℃时，全新蚀刻液对铜的蚀刻速度可达到10μm/min。但在实际生产中，都是采用常温蚀刻方法。FeCl3对铜的蚀刻是一个放热反应，随着蚀刻的进行，蚀刻机中药水温度会逐渐升高，蚀刻速度加快。随着FeCl3的消耗，蚀刻速度也会下降。同时这一升温过程也比较缓慢，所以在整个蚀刻过程中蚀刻速度变化不大。

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