RCA清洗工艺双氧水该如何补充

在RCA清洗工艺中，双氧水（过氧化氢）的补充是一个关键步骤，因为双氧水是强氧化剂，能够有效去除晶圆表面的有机物、颗粒和金属污染物。为此，下面给大家准备了详细的rca清洗工艺双氧水补充方法。

定期定量补液：

由于双氧水易挥发，且其浓度会随使用时间逐渐降低，因此需要定期定量地添加双氧水以维持清洗液的有效性。

一般建议使用液位传感器监控液位，并配合定量泵进行自动补液，以确保清洗液中的双氧水浓度始终保持在最佳状态。

新鲜配制溶液：

RCA清洗液中的SC-1和SC-2溶液都含有双氧水，且这些溶液在使用前应新鲜配制，以避免因长时间存放而导致的双氧水分解和浓度降低。

新鲜配制的溶液能够确保最佳的清洗效果，因为分解后的双氧水无法提供足够的氧化能力来去除污染物。

控制溶液温度：

在RCA清洗过程中，溶液的温度也是影响双氧水稳定性的重要因素。适当的温度范围可以提高清洗效果，但过高的温度会导致双氧水快速分解。

因此，需要严格控制溶液的温度在合理范围内（如70-75°C），以避免双氧水的过度分解。

使用高纯度化学品：

为了确保RCA清洗液的有效性，应使用高纯度的化学品进行配制，包括双氧水、氨水和盐酸等。

高纯度的化学品能够减少杂质引入的风险，从而提高清洗效果和产品良率。