苏州芯矽电子科技有限公司
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RCA清洗离不开的就是清洗液,那么你们知道这清洗液都有哪些成分构成吗?
小编为了谨慎解答大家的问题,我们查了资料,下面就来给带做一个科普。RCA清洗液主要有以下几种成分:
SPM(SC-3):这是一种含硫酸的酸性过氧化氢溶液,用于去除有机物。其配方通常为H2SO4、H2O2和H2O的混合物。
APM(SC-1):这是一种含胺的弱碱性过氧化氢溶液,用于碱性氧化,去除硅片上的颗粒,并可氧化及去除表面少量的有机物和金属原子污染。其配方通常为NH4OH、H2O2和H2O的混合物。
DHF:这是稀氢氟酸溶液,用于去除硅片表面的自然氧化膜,同时将吸附在氧化层上的微粒及金属去除。其配方为HF和H2O的混合物。
HPM(SC-2):这是一种含盐酸的酸性过氧化氢溶液,用于酸性氧化,能溶解多种不被氨络合的金属离子,对Al3+、Fe3+、Mg2+、Zn2+等离子的去除有较好效果。其配方通常为HCl、H2O2和H2O的混合物。