硅片清洗机日常保养

硅片清洗机的日常保养、点检

1 检查管路是否有泄漏。

2 检查各槽超声是否正常，根据工艺要求进行感官检查。

3 检查槽升降电机是否异响。

4 机械臂（含光杆）螺丝有无脱落或松动。

5 机械臂（含光杆）活动是否灵活。

6 机械臂（含光杆）垂直平行度是否良好。

7 机械臂（含光杆）是否有异常响声。

8 机械臂(含光杆）润滑是否良好。

9 开机前检查各工艺槽工艺温度是否正常。根据工艺要求，通过机器显示屏上显示的温度进行检查，显示温差范围在工艺要求的正负3 摄氏度之间。

10 根据设备要求，通过设备空气压力计显示读取压力值，在超出红色压力显示范围的，属于不正常情况，需及时通知设备人员进行处理。

11 对各槽里面碎片、杂物进行处理，保持各槽进、排水顺畅。