‌晶圆蚀刻后的清洗方法

大家很想知道的是，‌晶圆蚀刻后如何清洗，用什么方法是最佳的。既然有人问，我们一定会给大家一个满足的答案。今天说的内容就是，‌晶圆蚀刻后的清洗方法有哪些？

因为方法居多，我们还是给大家推荐的是目前市场的主流方法，也是成本效率比较低，使用比较方便的。大家可以根据自己的需求，自行选择，与尝试。

首选一定就是化学清洗法，目前基本方法涵盖是EKC 溶液清洗、NMP 溶剂清洗、IPA 溶剂清洗、纯水清洗。总结整体效果就是使用不同的溶液对于晶圆进行清洗，每个溶液使用的步骤不同，但是无法逃脱的就是最终结果，出去污染物。

相对化学的，就一定有物理的清洗方法。化学是使用溶液，那物理基本就是利用外界的作用，例如力的刷洗、超声波等等。最终目的依旧不变，还是想好去除污垢，但是需要注意的是，这种可能会造成表面损伤，毕竟不同的物体力的承受力是不同的。

当然目前主流占据的应该就是声波方法，推荐的一个就是超声波与兆声波。都是全新的技术，通过剥离的方法来去除污垢与杂质。

最后还有一个方法，就是浸泡方法。使用特定的浸泡液（如 ALK、SC1、SC2 等）对晶圆进行浸泡，让溶剂充分渗透到深孔和细小结构中，将污染物稀释。然后再使用冲洗方式补充清洗，以更加彻底地去除污染物。