槽式清洗机介绍

虽然说半导体清洗机设备很重要，但是根据不同的需求，分类选择也不同。毕竟不同的机器特性也是不同的，今天我们来给大家介绍的就是槽式清洗机。这到底是一款什么样清洗机呢？

那先从槽式清洗机结构来给大家介绍一下：

耐腐蚀机架：用于支撑整个设备的结构和各个部件，保证设备的稳定性和耐用性。

酸槽、水槽、干燥槽：分别用于放置不同种类的清洗液体和进行干燥处理。酸槽内装有酸性清洗液，水槽内装有去离子水或其他清洗液，干燥槽则用于去

除晶圆表面的水分，防止后续工序中的污染。

控制单元：负责对清洗过程进行精确控制，包括温度、时间、液体循环等参数的调节，以确保清洗效果和稳定性。

排风单元：在清洗过程中，会产生一些有害气体或蒸汽，排风单元可以将这些废气及时排出，保证工作环境的安全和清洁。

气体和液体管路单元：负责输送清洗所需的气体和液体，确保各个槽体之间的液体能够正常循环和排放。

槽式清洗机怎么样

先说说，这台机器是如何工作。槽式清洗机就是将晶圆放置在特制的花篮中，利用机械手依次将花篮通过不同的化学试剂槽进行清洗。拥有高效性与经济性，适用于半导体行业和其他精密制造业。

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