全自动硅片超声波清洗线

清洗对象：Ф2"、Ф3"、Ф4"、Ф5"、Ф6"晶片

清洗介质：水+碱性清洗剂

清洗工艺流程：

溢流清洗上料槽→超声波水洗槽→超声波碱洗槽→超声波碱洗槽→超声波碱洗槽→超声波碱洗槽→超声波水洗槽→超声波水洗槽→超声波水洗槽→下料

设备特点：

1、采用全自动龙门式机械手传输，自动化程度高。

2、电气控制系统采用PLC触摸屏控制。

3、设备设抛动及循环过滤系统。

4、机械手设有保护装置，当遇到碰撞、压力、倾斜等会造成机械故障或产品损伤的行为时，有感应装置能保护传动系统。

5、整机全封闭结构，设观察窗，易于维修和保养。

6、整机设排风系统，方便将室内雾气排到室外。

7、设声光报警，系统出现故障时进行报警提示，并在触摸屏上显示故障可能发生的原因，提示操作人员设备故障的器件及部位。