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晶圆清洗机组成部分有哪些

发布日期:2025-01-08 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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一台庞大的机器,正要正常工作离不开方方面面的协调,那么很多人没有研究过这么一台机器到底有哪些部件呢?我们今天就是来为大家揭晓这个答案的,告诉大家,其实这么一台机器组成部件虽然多。但是重要的也不外乎这些,赶紧来科普一下知识吧!


晶圆清洗机主要由清洗槽、喷淋系统、刷洗系统、干燥系统以及控制系统等部分组成。


清洗槽:用于容纳清洗液和晶圆,是清洗过程的主要场所。在清洗过程中,晶圆被放入清洗槽中进行浸泡,以使污染物松动并部分溶解。


喷淋系统:通过高压喷嘴将清洗液均匀喷淋到晶圆表面,以去除附着的污染物。这一步骤可以确保清洗液能够全面覆盖晶圆表面,提高清洗效果。


刷洗系统:配备有特制的刷子,可以对晶圆表面进行物理刷洗,进一步去除顽固污渍。刷洗系统通常与喷淋系统配合使用,以达到更好的清洗效果。


干燥系统:通过热风、红外线等方式,将清洗后的晶圆迅速干燥,防止水渍和二次污染。干燥系统能够有效去除晶圆表面的水分,为后续工艺提供干净的工作环境。


控制系统:负责整个清洗过程的自动化控制,确保清洗效果的一致性和稳定性。控制系统可以精确调节清洗过程中的温度、时间、液体循环等参数,以满足不同晶圆的清洗需求。


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