全自动槽式清洗机的特点及用途

目前全自动槽式清洗机被广泛应用在集成电路、MEMS和光伏领域的CMP后清洗工艺。该清洗机可对晶圆片表面、背面、边缘进行清洁。自主创新的兆声清洗技术可以去除附着在晶圆表面的细颗粒污染物，实现去除。可提供多罐化工液体或纯水，结合喷涂、溢流、快速清洗等清洗方式，配合先进的IPA干燥方式，可同时对应25或50件进行工艺处理。

当然你如果对于它了解不够详细的话，我们下面就来为大家介绍全自动槽式清洗机的特点及用途：

产品特点：

智能控制系统：全自动槽式清洗机配备了先进的传动控制系统，能够实现精准控制，从而保证清洗过程的稳定性和重复性。

自动供液系统：具备自动化学品集中供液系统（CDS），这不仅提高了化学品的使用效率，还通过精确控制化学品的供给，优化了清洗效果。

溢液设计：采用溢液设计不仅减少了清洗过程中的液体消耗，也有效降低了运营成本。

高清洗率：全自动槽式清洗机拥有≥99%的高清洗率，确保了极高的清洗质量。

多组合清洗工艺：可根据不同的清洗需求配置多种清洗方式，如喷涂、溢流、快速清洗等，极大地增强了设备的适用性和灵活性。

颗粒控制能力：设备能有效控制≥0.1μm的颗粒数量，每片晶圆上的颗粒少于15个，这对于高精度的半导体生产尤为重要。

药液罐双罐设计：采用双罐设计可以实现精确的温度控制，防止药液泄漏，保证了清洗过程的安全性与可靠性。

废液排气独立控制：独立的废液排气控制系统可以有效地保护操作人员的安全，避免直接接触有害化学物质。

对于用途可以归结为以下几点：

集成电路制造：在集成电路制造过程中，全自动槽式清洗机用于去除晶圆表面的微小颗粒、残留物和其他污染物，以保证电路的准确性和可靠性。

微机电系统清洁：MEMS器件往往具有复杂的微观结构，全自动槽式清洗机能深入这些难以触及的区域进行彻底清洗。

光伏行业应用：在光伏行业中，该设备用于清洗硅片，去除加工过程中产生的杂质，提高太阳能电池的效率。

精密金属部件加工：除了半导体和光伏行业，全自动槽式清洗机也广泛应用于其他需要高精度清洗的领域，如精密机械部件的生产和保养。