苏州芯矽电子科技有限公司
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硅片清洗作为制作光伏电池和集成电路的基础,非.常重要,清洗的效.果直接影响到光伏电池和集成电路zui终的性能、效率和稳定性。硅片清洗机。
硅片是从硅棒上切割下来的,硅片表面的多层晶格处于被破坏的状态,布满了不饱和的悬挂键,悬挂键的活性较高,十.分容易吸附外界的杂质粒子,导致硅片表面被污染且性能变差。其中颗粒杂质会导致硅片的介电强度降.低,金属离子会增大光伏电池P-N结的反向漏电流和降.低少子的寿ming,有.机化合物使氧化层的质量劣化、H2O会加剧硅表面的腐蚀。
清洗硅片不仅要除去硅片表面的杂质而且要使硅片表面钝化,从而减小硅片表面的吸附能力。高规格的硅晶片对表面的洁净度要求非.常严格,理论上不允许存在任.何颗粒、金属离子、有.机粘附、水汽、氧化层,而且硅片表面要求具有原子级的平整度,硅片边缘的悬挂键以结氢终止。硅片清洗机。
目前,由于硅片清洗技术的缺陷,大规模集成电路中因为硅材的洁净度不够而产生问题甚zhi失效的比例达到50%,因此优化硅片的清洗工艺极其必要。 硅片清洗机。