湿法刻蚀设备结构组成一览

湿法蚀刻设备既然如此重要，大家对于它的认知还是不足的。那么，大家想认识与了解它吗？如果想，那就先从基础开始吧，我们一起来看看把。

湿法刻蚀设备结构组成一览

主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。但是逛逛说名词，大家无法更加深入了解与认识，为此我们下面还抽一点时间，跟大家来讲讲每个部件都是什么，具体作用又有哪些吧！

耐腐蚀机架：耐腐蚀机架是设备的支撑结构，用于安装和固定其他组件。

酸槽：酸槽是存放刻蚀液的主要容器，根据材料的不同，可以分为不锈钢槽、NPP槽、PVDF槽、PTFE槽和石英槽等，以适应不同化学溶液的需求。

水槽：水槽用于清洗过程中的去离子水冲洗，确保晶圆表面杂质被有效去除。

干燥槽：干燥槽用于在清洗后快速干燥晶圆，避免水痕影响晶圆质量。

控制单元：控制单元负责整个设备的自动化控制，包括温度、时间、溶液浓度等参数的调节。

排风单元：排风单元用于排除刻蚀过程中产生的有害气体，保证操作环境的安全。

气体和液体管路单元：气体和液体管路单元负责输送刻蚀液、去离子水及气体，确保各部分功能的正常运行。