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光罩清洗机清洗室怎么用

发布日期:2024-11-29 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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光罩清洗机其实在原理相同的条件下,不同企业生产的细节会有点不一样。既然大家很想知道到底光罩清洗机清洗室如何使用,那我们就以我们公司生产的光罩清洗机为例,来给大家介绍一下吧!


光罩清洗机清洗室怎么用.jpg


光罩清洗机清洗室使用方法


其实在光罩清洗机中清洗室是一个重要的组件,想要知道怎么使用,就得明白一切。


准备工作:


确保清洗机已正确安装并连接至所需的电源和水源。


检查清洗室内部是否干净,无残留物或杂质。


根据需要配置清洗液或化学品,并确保它们符合清洗要求和安全标准。


放置光罩:


将待清洗的光罩小心地放置在清洗室内的指定位置。


确保光罩放置平稳,避免与清洗室壁或其他部件接触。


设置清洗参数:


根据光罩的材料、污染程度和清洗要求,设置合适的清洗时间、温度、清洗方式(如超声波、喷淋等)以及清洗液的循环次数等参数。


对于高级机型,可能还需要设置清洗程序或配方。


启动清洗过程:


关闭清洗室门,确保密封良好。


按下启动按钮或选择相应的清洗程序开始清洗过程。


清洗过程中,清洗机将自动进行清洗液的循环、过滤和控制清洗参数。


监控清洗过程:


在清洗过程中,可以通过观察窗口或监控系统实时观察清洗状态。


如有异常,应及时停机并检查处理。


取出光罩:


清洗完成后,清洗机通常会发出提示音或显示完成状态。


小心打开清洗室门,使用专用工具或手套取出清洗干净的光罩。


注意避免直接用手接触光罩表面,以防留下指纹或污染物。


后续处理:


对取出的光罩进行必要的检查,确保清洗效果符合要求。


如需进一步处理(如干燥、检验等),请按照相关流程进行。

相关标签: 晶圆清洗机 湿法腐蚀机 自动湿法清洗台

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