晶圆表面清洗方法

晶圆清洗大家都知道，这是一个必须要的环节。那么对于这一点来说，大家很想知道晶圆表面清洗方法都有哪些，毕竟根据污染物类型和材料特性来选择的，每种方法都有其独特的优势和适用范围。只有明白这些，大家才能选择最适合自己的。

晶圆表面清洗方法一览

化学浸泡清洗法：这是一种常用的晶圆表面清洗方法，它采用溶液将晶圆表面的污染物质化学溶解或与其发生化学反应，以达到清洗的效果。用得最多的溶液是氢氟酸、硝酸、盐酸、去离子水等。

机械清洗法：主要是利用刷子或喷枪等机械手段，以水为媒介进行表面清洗，包括气雾清洗和超声波清洗两种方式。

湿式清洗法：阿这是目前主流的晶圆表面清洗技术，主要分为湿式与干式两大类。湿式化学清洗(wet chemical cleaning)技术是以液状酸碱溶剂与去离子水之混合物清洗晶圆表面，随后加以润湿再干燥的程序。在湿式清洗程序中，还可以结合微粒去除的技术，如擦洗、高压液体喷洒、超音波和百万赫次超音波等。

干式清洗法：干式表面污染物清除技术主要有三：一是将污染物转换成挥发性化合物；二是利用动量使污染物直接扬起而去除；三是应用加速离子，使污染物破碎。此外，还有物理清除法（如冷冻Ar气胶清除晶圆表面微粒）和热处理法（通过加热方式产生热能，使气体分子转变为高能阶的原子状态，与晶圆表面的杂质或金属反应）等