晶片清洗机有哪几种类型

要说晶片清洗机的种类，虽然很简单，但是也分为单片式清洗机和槽式清洗机两种类型。对于这两种机型来说，我们也给大家归纳了具体的优点与缺点，让大家方便选择适合自己的，也是做为了一个充分了解的好机会。

单片式清洗机

设备组成：单片式清洗机由几个清洗腔体组成，通过机械手将每一片晶圆送至各个腔体中进行单独的喷淋式清洗。

优势：清洗效果较好，避免了交叉污染和前批次污染后批次的问题。由于是单独处理每一片晶圆，因此可以针对每一片晶圆的具体情况调整清洗参数，以达到最佳的清洗效果。

不足之处：清洗效率较低，成本偏高。由于需要对每一片晶圆进行单独处理，因此整体的清洗速度相对较慢，且设备的购置和维护成本也较高。

槽式清洗机

设备组成：槽式清洗机主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。

优势：清洗效率较高，成本较低。由于可以同时清洗多个晶圆，因此整体的清洗速度较快，且设备的购置和维护成本相对较低。

不足之处：清洗的晶圆之间会存在交叉污染和前批次污染后批次的问题。由于是批量处理晶圆，因此在清洗过程中可能会有一些污染物从一个晶圆转移到另一个晶圆上。