硅片清洗机年度保养

硅片清洗机年度保养

1 检查各进出排水阀是否正常

2 清理所有水路。

3 检查机械臂升降丝杆是否正常。

4 检查慢提拉丝杆是否正常。

5 检查各刹车马达是否正常（慢提拉、机械臂、横移）。

6 对各电机减速机进行润滑油脂更换。

7 检查抛动电机、减速箱、凸轮轴承是否正常。

8 检查各超声波发生器风扇是否正常，并清洁。

9 检查机台各接地线及接地紧固螺丝是否完好，用万用表测量接地阻值必须≤4Ω，关闭电源，拧紧所有的线端子、连接器、电气装置上的紧固螺丝，上紧每个电机上的电源、编码器及其它装置的数据信号线插头。

10 电气柜进出线螺丝是否松动，紧固一遍。

11 用钳形电流表测量各电机三相电流是否平衡，正常电流平衡范围应≤10％

12 检查各槽加热是否正常。

13 检查鼓风机是否正常（电机、叶片）。