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苏州芯矽电子科技浅谈硅片清洗机

发布日期:2021-11-24 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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 苏州芯矽电子科技有限公司研发生产的超声波硅片清洗机适用行业:太阳能光伏行业,适用于炉前、光刻、氧化前、抛光后及钝化前清洗。可有效清.除硅片表面的灰尘、杂质及金属离子等各种污物。

 

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        清洗工艺流程:


     手动上料→溢流清洗上料槽 → 纯水超声波清洗槽(带抛动功能) →清洗剂超声波清洗槽(带抛动功能) →清洗剂超声波清洗槽(带抛动功能)→纯水超声波漂洗槽(带抛动功能) →纯水漂洗槽(带抛动功能) →手动下料


     硅片清洗机产品特点:


     1、全自动PLC触摸屏控制系统,触摸屏上设相应功能的控制开关,可单独cao作,其状态可在触摸屏上显示;


     2、抛动方式:通过电机控制,上下抛动频率可调;


     3、传动方式:上下料工位采用平面链网传输机构,其他工位采用双臂机械手传输,通过变频器控制;


     4、防撞保护:机械手设有保护装置,当遇到碰撞、压力、倾斜等会造成机械故障或产品损伤的行为时,有感应装置能保护传动系统;


     5、各清洗槽配储液槽和循环过滤系统;


     6、设备内部安装防腐蚀照明灯;


     7、整机为全封闭结构,设观察窗,观察窗开启方便、灵活、安.全,易于维修和保养;


     8、整机设排风系统,可将清洗室内的雾气及时排走;

硅片清洗机       

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相关标签: 硅片清洗机 自动湿法清洗台 晶片清洗机 晶圆清洗机 湿法腐蚀机 SC-2清洗机 碱液清洗机 RCA清洗机 去胶清洗机 酸洗清洗机

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