铜及其合金的湿法刻蚀工艺

湿法腐蚀机湿法蚀刻工艺中的安.全、健康和环境问题   

铜及其合金的湿法蚀刻工艺存在许多安.全、健康和环境问题。这些过程使用强酸性或碱性化学溶液，这些溶液具有很强的反应性，会造成严重的损害。在湿法蚀刻过程中，蚀刻剂被加热到高温，从而产生烟雾。处理这些危险化学品时，需要适当的通风和个人防护设备，如防护罩、围裙、手套和护目镜。

另一个问题是湿法腐蚀机湿法蚀刻工艺产生大量用过的(耗尽的)蚀刻剂，这使得该工艺从环境角度来看非·常不受欢迎。所使用的蚀刻剂具有很强的腐蚀性，并且由于其酸性或碱性形式而被认为是“危险废物”，并且在不可用的蚀刻剂中含有重金属。用过的蚀刻剂的再生是一种废物处理过程，其中用过的蚀刻剂被氧化回可重复使用的或初始形式的蚀刻剂。使用过的蚀刻剂的再生系统的应用使得该工艺具有成本效益并且环境可接受。

湿法腐蚀机湿法蚀刻工艺已被广泛用于制造各种工业的微元件。它是电子工业中非·常重要的微加工·工艺。铜及铜合金湿法蚀刻zui重要的因素是选择合适的蚀刻剂。这种选择不仅取决于蚀刻剂的蚀刻性能；由于环境法规，用过的蚀刻剂的再生是关键因素。使用过的蚀刻剂再生系统的应用将使微机械加工过程对环境友好并且更加经济。