​通过以下总结的方法，能简单的判断晶圆清洗机出现故障的原因

通过以下总结的方法，能简单的判断晶圆清洗机出现故障的原因

　　在晶圆清洗机划切过程中，晶圆在划切时需要固定在吸盘上。在吸盘的表面加工有吸附槽，通过使吸附槽内产生低压真空以将晶圆吸附在吸盘表面。

　　由于划切过程中主轴在高速的旋转，刀片在划切晶圆时产生很大的切削力，所以晶圆的吸附需要非·常的稳定和可靠。而现有的吸盘，存在吸附稳定性差的问题。

　　吸盘的吸附力的大小将直接影响到真空吸附的稳定性，而吸附力的大小与吸盘表面设置的吸附槽的大小及形状、布局等有关。并且，如果吸附槽中落入杂质，不能及时进行清理的话，将会影响真空吸附力，从而影响吸附稳定性。而现有的吸盘，其上设有方形的吸附槽，而方形吸附槽内的杂质由于不易清理，严重地影响了其次吸附力，从而影响了吸附稳定性。

　　晶圆清洗机出现故障怎么维修？

　　主轴抱死——主要原因是空气回路不洁净，过滤效·果不好，特别是进入油、杂子造成气孔堵塞而造成的。

　　修理方法：首先，更换过滤器芯，过滤效·果;其次，打开主轴重新研磨轴承内孔及端面，然后用航空汽油彻底清洗干净即可。此cao作一般用户不具备条件，应送专·业厂修理。

　　振动过大——主要原因，一是主轴动平衡不好(包括刀盘)，二是砂轮片动平衡不好。

　　修理方法：主轴重新做动平衡达到合格，此cao作一般用户不具备条件，应将晶圆清洗机送专·业厂修理;或更换合格的砂轮片。

　　跳动过大——主要原因是刀盘，或主轴加工精度不好，处理办法：更换刀盘或主轴。

　　温升过大——主要原因，一是主轴冷却不好，处理办法：检查冷却水压力、水温和水量是否正常。二是电机过载发热导致，主要原因是小马拉大车，主轴功率偏小;处理办法：降·低加工范围，或则更换功率大的主轴。

　　电流过大——一是过载，二是电机质量不好。处理办法：修理或更换主轴。

　　噪声过大——主要是气流噪声。处理办法：修理或更换主轴。

　　耗气量过大——主要是主轴气路密封不好漏气，或轴系配合间隙过大。处理办法：修理或更换主轴。

　　轴系热串动大——现象是，工件冷却水开和停，主轴刀片轴向位移大，主要原因是主轴内部冷却效·果不好，或着是主轴内部冷却结构不先进，导致冷却效·果不好，处理办法：修理或更换主轴。

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