湿法清洗机spm注液顺序

很多人好奇，到底湿法清洗机spm注液顺序是怎么样的。其实操作流程与规范上已经标注，但是你依旧存在疑惑的话，我们也是乐于为大家解答。

湿法清洗机SPM注液顺序是先注入硫酸后注入过氧化氢。

在半导体制造过程中，光致抗蚀剂的去除是一个关键步骤，它直接影响到晶片表面的清洁度和后续工艺的质量。SPM（硫酸和过氧化氢的混合物）作为一种有效的清洗剂，被广泛用于去除晶片上的有机残留物。正确的注液顺序对于保证清洗效果至关重要。

在开始注入SPM之前，应确保所有设备和材料都已准备就绪。这包括检查化学品的质量、浓度以及设备的运行状态。操作人员需要穿戴适当的个人防护装备，如防酸碱手套、护目镜等，以确保安全。

在实际操作中，通常的做法是先注入硫酸，这是因为硫酸是一种强酸，能够有效地分解光致抗蚀剂中的有机物质。随后注入过氧化氢，过氧化氢作为氧化剂，可以进一步氧化分解已经由硫酸处理过的有机物，从而达到更彻底的清洗效果。