苏州芯矽电子科技有限公司
联系人:陈经理
号码:18914027842邮箱:Jakechen@szsi-tech.com
地址:江苏省苏州市工业园区江浦路41号
【硅片清洗机】中清洗硅片的顺序
硅片表面残留颗粒的等离子体清洗方法,它包括以下步骤:
一:进行气体冲洗流程,然后进行该气体等离子体启辉。
二:去除硅片表面颗粒的等离子体清洗方法过程控制容易,清洗彻底,无反应物残留,所霈工艺气体无毒,成本低,劳动量小,工作效率高。