苏州芯矽电子科技有限公司
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难道你们不好奇吗?foup清洗机可以洗什么呢?大家说了好久的清洗机,到底洗什么才是一个重点不是吗?那今天就来给大家介绍一下:FOUP清洗机主要用于清洗半导体制程中的各类晶圆料盒,包括但不限于以下几种。
FOUP:即前开式标准晶圆传送盒,是半导体制造过程中用于存储和运输晶圆的容器。在芯片制造的各个环节中,FOUP会接触到各种化学试剂、光刻胶等物质,其表面容易附着颗粒、金属离子等污染物,FOUP清洗机能够有效地去除这些污染物,防止它们在后续工艺中对晶圆造成污染,影响芯片的良率。
FOSB:是一种非透明的半导体晶圆转运盒。与FOUP类似,FOSB在半导体生产过程中也会因为频繁使用而沾染污垢和杂质,通过FOUP清洗机的清洗,可以保持其内部的清洁度,为晶圆提供一个良好的储存和转运环境,确保晶圆的质量不受影响。
Cassette:通常用于存放晶圆或光罩等物品。在长期的使用过程中,Cassette的表面会积累大量的颗粒和化学物质,FOUP清洗机可以利用高压冲洗、离心旋转等方式,将这些污染物彻底清除,使Cassette能够重复使用,同时避免对后续使用的晶圆或光罩产生污染。