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石英炉管清洗机怎么用

发布日期:2024-10-21 内容来源于:http://www.szsi-tech.com.cn/

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石英炉管清洗机应该是我们不少企业日常使用的一个机器,那么不少人还缺乏专业的培训,大家比较想知道的是石英炉管清洗机应该怎么正确使用呢?

具体的使用方法,我们已经为大家准备就绪,建议大家跟我们一起来学习一下。


石英炉管清洗机怎么用才是最好的


准备工作


检查设备状态:确保所有连接正确无误,包括电源、水源和气源的连接。


准备化学品:如果槽内有以前用过的氢氟酸溶液且溶液不脏,可以再加入10瓶氢氟酸;如果溶液很脏,则应排空并洗净槽体,然后重新配制溶液。


装载石英管


佩戴防护装备:操作人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套。


放置石英管:将备用石英管放入清洗机的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向扩散炉方向。


设置参数


设定清洗时间:新的石英管清洗时间约为30分钟;如果是用过的石英管,应根据管内壁沾附的白色五氧化二磷脱落情况来决定清洗时间,有时可能需要1到2天。


启动机器:拉下防护门,设定好清洗时间后按下控制面板中的“酸槽启动”按钮。


进行化学清洗


监控过程:在酸槽未启动的情况下,每隔2个小时将石英管旋转180°以促进均匀清洁。


注意安全:在整个过程中,确保遵守相关的安全标准和操作规程。


后续处理


取出石英管:戴上防护眼镜和手套,从酸槽中取出石英管,轻放入水槽中。


冲洗石英管:用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟,注意不要按下“水槽启动”按钮,以免影响清洗效果。


重复清洗:将纯水注入水槽,水位没过石英管尾部的中间通气管为准,重复上述冲洗步骤至少两次。


干燥和存放:清洗完成后,将石英管放到净化间的指定位置,用专用泡沫垫底并用铝箔密封管口和尾管。



虽然到了这一步完成了后续处理,但是我们还是有几点注意事项需要提示大家的。大家需要再操作的过程中,避免碰撞毕竟在搬运或放置石英管时,使用专门的塑料套管,避免与清洗槽或其他物品发生碰撞或接触。


还有一点很容易忽视的就是定期维护与检查,毕竟设备机器,都要保养的。只有让其其处于良好工作状态,以提高清洗效率和延长设备寿命。

相关标签: 酸洗清洗机 晶圆清洗机 硅片清洗机

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