苏州芯矽电子科技有限公司
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【硅片清洗机】中硅片清洗的目的
清洗的目的:
在于消灭表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。