硅片清洗机晶片腐蚀清洗机维护保养

晶片腐蚀清洗机维护保养：

1、经常检杳液位，及时补充水。

2、表面清洁如新，不能残留污垢。

3、操作者因故离开，关闭电源。

4、发生故障停机，检修中禁止运行。

5、水泵进水口有插板式滤网，1次/周清洗。

6、水泵出口经过滤器的滤袋1次/2周清洗。

7、各传动部分进行检查加油润滑。

8、清洗过滤袋，查看过滤插板是否有损坏。

9、整体接触清洗液水箱部位有无腐蚀侵袭。

10、需检查晶片清洗机端盖铰链是否锈蚀，气缸活塞污垢清除。

11、控制箱门不允许随意开启，要及时关闭，里面电线不能沾水，做好隔离水源保护措施。

12、排除原来的清洗液，清扫沉底的污垢，用水枪清洗水箱。

13、确认检查水箱底部是否老固、腐蚀程度、有无泄漏源和泄漏隐患。

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