【硅片清洗机​】的铺助系统有什么

【硅片清洗机】的铺助系统有什么

  1.循环过滤系统

　　在该系统中设有过滤器，对槽液进行动态过滤，以维持槽液的清洁度。当工件出槽，经过过滤的液体流经槽体上部的喷淋环节对工件进行一次冲洗，以便冲掉工件出槽，以避免其对下道槽液造成污染。

　　2.输送系统

　　根据被清洗工件的形状、体积、批量等确定超声波清洗机的输送方式及控制方式。典型的输送方式有——悬链、网带、双链、步进、电葫芦、自行葫芦、滚筒、转盘、龙门架、机械手、吊篮、推盘等等。

　　3.喷淋漂洗系统

　　根据被清洗工件表面状况，有清洗机配备喷淋漂洗工序，将超声波清洗和喷淋清洗有机地结合起来。

　　4.烘干系统

　　根据被清洗工件的状况，有清洗机配备烘干系统，烘干系统主要由加热器、风机、吹风喷嘴等组成，温度自动控制。