苏州芯矽电子科技有限公司
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油状污点或污带,
在一般情况下,硅片表面层所吸附的杂质粒子处于动态平衡状态 , 吸附在硅片表面上的杂质可分为分子型、离子型和原子型三种情况。其中分子型杂质与硅片表面之间的吸附力较弱,消灭这类杂质粒子比较容易。它们多属油脂类杂质,具有疏水性的特点,
硅片表面是硅晶体的一个断面,由结晶学可知,这个表面所有的晶格都处于破坏状态,即有一层或多层硅原子的键被打开,呈现一层到几层的悬挂键,又称之为不饱和键。由物化性质可知,非饱和化学键化学活性高,处于不稳定状态,极易与周围的分子或原子结合起来,这就是所谓的“吸附”。被吸附的杂质粒子并不是固定不动的,而是在其平衡位置附近不停地振动着,其中一些被吸附的杂质粒子由于获得较大的动能而脱离硅片表面,重新回到周围介质(如空气)中去,这种现象称为“解吸”。与此同时,在介质中的另一些粒子又会在硅片表面上重新被吸附。