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硅片清洗机中得出什么结论

发布日期：2020-04-30 内容来源于：http://www.szsi-tech.com.cn/

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【硅片清洗机】中得出什么结论

硅片的清洗在半导体制作过程中很重要，而磨片的清洗是所有清洗工序中很困难的。由于使用了硅片超声波清洗机，通过物理渗透作用，使污染颗粒脱离硅片表面，再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用，终去除污染颗粒，达到了清洗硅片的目的。

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