卧式石英舟清洗机

卧式石英舟清洗机是专为半导体制造过程中的石英舟和石英管设计的清洗设备。它通过使用去离子水（DIW）、酸液等药液，对8寸/12寸等多种尺寸的石英舟/石英管进行高效清洗。

该设备利用机械手带动花篮进行水平和升降运动，使石英舟在超纯水工艺槽和化学工艺槽内进行振动清洗。同时，通过管路系统对废液进行分类排放及回收，减少了废液处理过程中的浪费，节省了回收成本。

技术特点：

自动补液功能，通过液位传感器控制，确保清洗液的稳定供应。

药液循环过滤，保持清洗液的清洁度，提高清洗效果。

炉管滚动，使石英舟在清洗过程中均匀受力，避免局部残留。

独立取样口，方便对清洗效果进行实时监控。

排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等安全措施，确保设备操作的安全性。