硅片清洗机的作用

硅片清洗机的作用  

　　1.设置里面储罐冷冻系统，有效防范溶剂挥发

　　2.建立液位控制系统，保证设备正常运行

　　3.设置溶剂加热和数字显示温度控制装置，保证直观和准确的温度控制

　　4.建立快速冷冻干燥系统，以实现工件的快速冷冻干燥

　　5.建立溶剂过滤系统以此降·低研发设计成本

　　6.建立溶剂蒸馏回收系统以保持溶剂的纯度和再生

　　硅片清洗机物理清洗有三种方法：

　　①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。

　　②高压清洗：是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。

　　③超声波清洗：超声波声能传入溶液,靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是,从有图形的片子上除去小于1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗效·果更好。