BOE湿法清洗机

BOE湿法清洗机是槽式清洗机的一个分类，它具有独特的功能，简单来说它是采用了先进的控制技术和自动化系统，能够实现精确的温度控制、时间控制和化学溶液的自动混合与更换。这些特点确保了清洗过程的稳定性和重复性，从而提高了清洗效果和生产效率。

根据其特性，目前主要应用于半导体制造行业，特别是在光刻、刻蚀等关键工艺步骤中。它能够有效地去除晶圆表面的氧化层和其他残留物，保证后续工艺的顺利进行和产品质量的稳定。

主要功能包括：刻蚀和清洗。

刻蚀功能

工艺技术：BOE湿法清洗机的刻蚀功能涉及使用特定的化学溶液，如SPM、SC1、SC2、BOE、HF等，来去除晶圆表面的氧化层或其他材料。这些化学物质通过与材料表面发生化学反应，实现精确的刻蚀作用。

清洗功能

药液纯水消耗：在清洗过程中，BOE湿法清洗机使用的药液和纯水量相对较少，这不仅减少了化学品的消耗，也降低了对环境的影响。

微粒去除能力：该设备在清洗过程中能够有效去除晶片表面的微粒，对于直径大于25nm的粒子，其去除效率极高，这对于保证半导体器件的性能至关重要。

特别提示：针对各种不同的需求，BOE湿法清洗机可以定制不同的尺寸和配置，以满足特定生产线的要求。