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RCA全自动清洗机

产品介绍


RCA全自动清洗机是一种广泛应用于半导体制造领域的晶圆清洗设备,以其高效、自动化的特点在行业中占据重要地位。


既然说的如此隆重,那么我们就来介绍一下RCA全自动清洗机拥有哪些技术特点:


多道配方选择:采用PLC自动控制,设有多道配方供客户选择,满足不同工艺需求。


模式切换功能:具有手动模式和自动模式切换功能,操作灵活方便。


高精度定位传输:前置式机械手传输,机械和电气双重限位卡控,保证定位精度高、传送平稳、运行可靠。


不同材质类型选择:有PVC/PP/SUS304等多种不同材质类型的机台,可根据药液性质和工艺需求进行选择。


透明视窗设计:机台外壳门板上装有透明视窗,方便观察机台内的运行情况。


定制甩干机:机台内配有依客户需求定制的甩干机,可直接于Bench主屏幕完成一系列操作


RCA全自动清洗机


如此之外,它拥有高超的工艺值得我们称赞,分别是:


喷淋:利用高压水快速冲洗产品上残留的药液。


溢流:槽体边沿成锯齿形,槽内纯水一直溢流,保持清洁。


循环:利用循环泵使槽内药液一直保持流动状态,提高清洗效果。


抛动:槽内装有抛动机构,使产品与药液接触效果更好。


转动:槽内装有转动机构,使产品在槽内自转,防止产品有清洗不到位的地方。


盘管冷却:槽内装有冰水盘管,更好的保证槽内温度的稳定性。


超声清洗:主要是利用超声波的强力冲击效应,对附着在产品表面的物质进行清洗。


热氮烘干:通过高温的离子风,使产品表面的残留水渍快速烘干。


传输方式:PLC控制机械手左右移动,上下运行,具备倒车功能。

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