苏州芯矽电子科技有限公司
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卧式炉管清洗机属于炉管清洗机的分类,具体是一种用于清洗石英炉管或石英舟的设备。
构造系统
其结构主要由清洗槽、溢流排放槽、本体、工件支撑及旋转驱动机构、排风系统、给排水系统、及电器部分待构成。
本体采用德国pp板搭配德国焊接设备焊接而成。
金属骨架外包pp板,为滚动浸泡式清洗,人工装、取工件(可做成自动装取工件)。
石英管清洗机前方装有防护隔离门:隔离门采用南亚透明pvc板制成,并对其加以配重,使前门可以轻松开合和使用者的理想高度定位。
在清洗过程中,隔离门关闭,以尽量改善工作环境并减小对人体的危害,而且在隔离门上开有风罩调节板,以平衡气压,隔离门上还装有传感器,当门打开时,n2鼓泡同时停止。
在清洗机的底部预留有一定空间,可以存储器皿,同时开有门窗,可以方便的对清洗机管路部分进行检查和维修。
技术特点
主体材料:该设备的主体材料采用了德国进口的PP板,以及优质不锈钢骨架,外包PP板,确保了设备的耐腐蚀性和结构稳定性。
管路材质:DIW管路及构件采用日本进口的clean-PVC管材,酸碱管路采用PFA/PVDF材质,满足18M去离子水水质要求,保证了流体传输的高纯度和安全性。
安全措施:该设备设有EMO(急停装置),强电弱点隔离,所有电磁阀均高于工作槽体工作液面,电控箱正压装置(CDA Purge),设备三层防漏楼盘倾斜漏液报警,设备整体置于防漏托盘内,排放管路加过滤装置,所有槽体折弯成型,可有效避免死角颗粒。
应用领域
半导体制造:在半导体器件的制造过程中,卧式炉管清洗机用于石英炉管或石英舟的湿法化学处理,如腐蚀、清洗等步骤。
光学镀膜:在光学器件的镀膜前,使用该设备对石英基片进行清洗,以去除表面的杂质和污染物。
材料科学研究:在材料科学研究中,用于清洗实验中使用的石英炉管或石英舟。