EPI外延部件清洗机

EPI外延部件清洗机专为半导体晶圆行业湿法制程设计，通过使用DIW（去离子水）喷淋方式，对EPI外延部件进行高效清洗。该设备适用于手动清洗机台，能够有效去除0.2um以上的particle，且去除率至少达到95%。 

技术特点

现代EPI外延部件清洗机通常采用旋转+喷淋的清洗方式，结合PLC控制和软件多重互锁，确保了清洗过程的稳定性和高效性。同时，该设备设计有排风系统和漏液检测系统，便于维护，提高了设备的安全性和可靠性。 

应用领域

EPI外延部件清洗机广泛应用于半导体制造领域，特别是在晶圆级预烧、磁性退火、黏晶固化、稳定性测试、热冲击处理等工艺中，对EPI外延部件的清洗要求极高。