EPI外延清洗机

这是一款用于半导体制造过程中的EPI（Epitaxial）外延部件清洗的设备，主要用于在晶圆上进行薄膜沉积的预镀工艺。随着半导体行业的快速发展，对EPI外延清洗机的需求也在不断增长。市场上存在多种类型的EPI外延清洗机，以满足不同工艺需求。大家可以选择适合自己的，当然也欢迎咨询，为你需求量身定做。

技术特点：

现代EPI外延清洗机通常采用高度自动化的设计，能够实现精确控制和远程监控，提高操作效率和安全性。同时，该设备设计有排风系统和漏液检测系统，便于维护，提高了设备的安全性和可靠性。

应用领域：

EPI外延清洗机广泛应用于半导体制造领域，特别是在晶圆级预烧、磁性退火、黏晶固化、稳定性测试、热冲击处理等工艺中，对EPI外延部件的清洗要求极高。