​硅片清洗机利用双频超声波清洗除垢

硅片清洗机利用双频超声波清洗除垢

除垢手段多种多样，人工清洗方便可靠，不会产生化学废液，但是这种方式效率低下，劳动强度大，清洗也不够彻底，已经被逐渐淘汰。物理清洗包括高压水射流清洗、电脉冲清洗、超声波清洗、抛丸清洗和机械刮擦等，安·全高·效，是常用的清洗方式。

此外，另一种常见的清洗方式是化学清洗，是在换热和冷却等设备中加入酸溶液，通过化学反应快速溶解水垢的清洗方法。常用作清洗的酸包括硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、氢氟酸、氨基磺酸等无机酸，以及甲酸、醋酸、EDTA、柠檬酸等有·机酸，其作用效·果各不相同。然而，由于大多数设备都是金属设备，材质多为碳钢，各种酸对金属设备均有不同程度的腐蚀作用，同时，反应所放出的氢会向金属内部扩散，使设备发生脆氢现象，带来安·全隐患。此外，反应也会放出酸性气体，使劳动条件恶化。

超声波清洗污垢，主要是通过超声波的空化效应来实现的。硅片清洗机利用超声波发生器产生的高频电流转换成相同频率的机械波,以超声波的形式传播入清洗液中,并在清洗液中形成数以万计的微小气泡,进而产生近似真空的微小空穴。在超声波的作用下,这些密集的气泡迅速破裂,瞬间形成超过几千个大气压的瞬时高压及局部高温,强烈的冲击波不断轰击清洗物表而,使附着物迅速从物体表面剥落。对于一些沟槽、多孔、狭缝之类的不规则表而,超声波清洗更有效。

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