硅片清洗剂在硅片清洗中有什么优点

硅片清洗剂广泛应用于光伏，电子等行业硅片清洗；由于硅片在运输过程中会有所污染，表面洁净度不是很高，对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响，所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗cao作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污，然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷进”，会引起外延缺陷；再去除颗粒、金属等，同时使硅片的表面钝化。 多采用传统的RCA清洗方法，不仅可以去除硅片表面的金属等，还可以去除小颗粒等污染物。

硅片清洗剂具有以下优点：

清洗彻底，并且清洗后不会在硅片表面留下残留

清洗后不会对硅片材质产生损伤

硅片清洗剂本身化学性质稳定，

这种清洗剂调配的槽液易维护，并且易漂洗金属等，还可以去除小颗粒等污染物。