硅片清洗机在工业上的应用情况简析

发布日期：2021-05-26 内容来源于：http://www.szsi-tech.com.cn/

更多 0

硅片清洗机不仅保留了超声波清洗的优点，而且克服了超声波清洗的缺点。兆声无损清洗机的工作原理是利用高能（850kHz）频率效应和化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗。在清洗过程中，换能器发出的高能声波波长为1 m，频率为0.8 MHZ。在声波的驱动下，溶液的分子运动得更快。瞬时速度可达30cm/s。因此，无法形成超声清洗等气泡。相反，硅片清洗机只能用高速的流体波不断地冲击晶圆片表面，迫使附着在晶圆片表面的微小污染物颗粒被去除并进入清洗溶液中。

　　硅片清洗机特点：

　　高能能有效地去除亚微米粒子。

　　声的产生与传统的超声空化不同，避免了对工件的损伤。

　　发电机配有液晶显示屏，可对运行状态进行数字化显示。

　　发电机配有锁相环频率自动跟踪系统，可与主计算机连接，外形设计精美。

　　安装方便，可与生产线配套使用。

　　硅片清洗机主要用于：

　　1. 液晶显示，手机镜头，光学设备摄像头镜头制造。

　　2. 汽车、摩托车制造。

　　3.电子、微电子、电子及电子元器件制造业。

　　4、五金、机械零部件行业。

　　5、航天、航天清洗精密零部件行业；。