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硅片清洗机的清洗液温度选择

发布日期：2020-05-14 内容来源于：http://www.szsi-tech.com.cn/

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【硅片清洗机】的清洗液温度选择

　水清洗液适宜的清洗温度为40-60℃，尤其在天冷时若清洗液温度低空化效应差，清洗作用也差。因此有部分清洗机在清洗缸外边绕上加热电热丝进行温度控制，当温度升高后空化易发生，所以清洗作用较好。当温度继续升高以后，空泡内气体压力增加，引起冲击声压下降，反应出这两因素的相乘作用。

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