硅片清洗机的月保养

【硅片清洗机】的月保养

1.  保证各槽水满，液位处于高液位状态。将机器电柜内总电源拉下。对机械臂横向上的旧油脂、赃物进行清理：给轨道的滑块上润滑油脂，对横向移动的齿轮上润滑油脂。

2 . 将机械臂升降部分的盖板拆卸下，清理丝杆及导轨上的旧油脂赃物；给升降的滚珠丝杆、光杆上润滑油脂。

3 . 检查升降皮带的松紧及磨损情况，对磨损严重的进行更换。

4 . 检查升降部分的气缸、光杆、导轨、滑块、丝杆螺母副、抓勾架上面螺丝的松紧。

5.  给各气缸（甩干机上开关门气缸）上少量润滑油脂。

6.  检查压缩空气滤芯，对变脏、变黄堵赛的滤芯进行更换。

7.  对上下料白色链条过松的进行调整，对带动上下链条运转的齿轮链条进行调整，检查上下料链条导轨是否松动。

8.  检查机器上各个气缸、气阀、快速接头是否漏气，甩干机的压缩空气加热是否漏气，对漏气情况进行相应处理。

9.  对各个槽的进出水管路、开关、转接头、三通、液位传感器固定处、加热管固定处进行漏水检查；注意各加热管接线处必须有绝缘保护，接线处必须干燥。

10.  给机器上电，通过手动模式在触屏上测试各进出水气动阀、气缸动作是否正常，将各槽水放完。

11.  确认各槽液位均为低液位，后再将各气动阀关上，将各槽水放满，检查其高液位是否正常，烘干型清洗机快热槽也要检查。

12.  将各槽加热温度均设为 40 度，开启加热，烘干型需将烘道抽风打开把烘道温度设为60 度。

13.  逐一按下拔出各急停开关，检查各个急停开关，挡住安全检传感器检查其是否正常可靠。

14.  根据工艺要求，用超声波检查仪对各槽超声大小进行检测。

15.  对机器的机械臂升降、横向移动限位开关进行触碰，测试其是否正常、可靠。

16.  烘干式清洗机要将烘道下部的过滤网取出进行清理。

17.  再次取一空工装，将各槽时间改为10 秒，进行自动模式测试。对机械臂在各槽的抓、放工装位置进行跟踪，确保筐子在各个槽准确定位，机械臂抓取速度均衡，抓勾平行抓取。

18.  用温度检查仪器分别测试各加热槽的温度传感器位置，对各槽温度控制进行检查，其温度范围值为设定值正负 3 摄氏度之间；还需用温度检查仪器测试烘箱温度感应器位置，测试烘道内温度，其温度范围值为设定值正负3 摄氏度之间。

19 . 测试完成后，将各槽时间改回原工艺时间，确实的将各项保养结果写入保养表。将设备交付操作人员完成保养。

20 . 将保养过程的项目实际情况如实填入保养表，并于每个月最后一天进行收集、更换。