苏州芯矽电子科技有限公司
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1、水质分类,合理优化资源
根据多晶硅片制造过程中各用水环节对水质的要求,将用水环节分成高等水质用水环节、中等水质用水环节、和低等水质用水环节。将高等水质用水环节排出的废水进行净化处理,然后作为中等水质用水环节和低等水质用水环节的用水。
2、增加沉淀池和过滤器,对水要求进行划分
根据本方法的另一个方面,还提供了一种废水循环利用系统,应用于单多晶硅片制造,该系统包括:第一级沉淀池,第二级沉淀池,过滤器。
3、通过传感器增加灵敏度
本方法提供的系统,还包括控制器,滤后储水槽内由高至低设置有第一高液位传感器、第一中液位传感器和第一低液位传感器三个液位传感器。