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在金属朝清洗机中如何去除硅片的有机物
1、硅片晶圆超声波清洗机能清洗硅片。
2、硅片晶圆生产清洗工艺中，使用【硅片清洗机】有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元。
