苏州芯矽电子科技有限公司
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硅片清洗中的沾污杂质来源
【硅片清洗机】主要包括以下几方面:
1. 硅片加工成型过程中的污染,
2. 环境污染,
3. 水造成的污染,
4. 试剂带来的污染,
5. 工业气体造成的污染,
6. 工艺本身造成的污染,
7. 人体造成的污染等。
